基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺

摘要：

以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块.首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光.再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝光,显影得到双层微齿轮的胶模.最后,进行微电铸得到双层微齿轮型腔镶块.通过实验验证了双层微齿轮模具镶块制作的工艺流程,优化了其工艺参数,克服了底部曝光不足引起的问题,并对制作工艺过程中产生的涂胶不平整、前烘时胶层不稳定、热板加热不均以及接触式曝光破坏胶层表面等问题进行了研究.所制得的双层微齿轮胶模垂直度高,表面质量好,且套刻精度高.

关键词：UV-LIGA、氧化铟锡(ITO)、背面曝光、正面套刻、双层微齿轮、模具镶块

所属期刊栏目：49

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室项目10KF006

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：129-133