剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究

摘要：

研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺.利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性.对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低.对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间；两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细.

关键词：声表面波(SAW)、滤波器、叉指换能器(IDT)、剥离、陡直度

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金重点项目2010A0302013

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：124-128