地震勘探用电容式闭环微加速度计的仿真

摘要：

MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标.利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型,并通过其力学性能仿真,得出优化的设计结构尺寸,即梁长L=150μm,梁宽b=40μm,梁厚h=4μm,活动电极和固定电极的间距d0取为1μm.同时利用电路仿真软件建立了传感器闭环系统的整体仿真数学模型,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析结果吻合,传感器的分辨率可达0.001m/s2,频带宽度可达500MHz.该基于MEMS加速度传感器的新型地震检波器在地震勘探中将具有广阔的应用前景.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、加速度传感器、闭环系统、仿真、地震勘探

所属期刊栏目：49

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金KFJJ201111

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：108-112