铋基焦绿石薄膜的湿法刻蚀方法研究

摘要：

介绍了一种能对铋基焦绿石薄膜进行湿法刻蚀的有效方法,研究了HF,NH4F和HNO3的水溶液对铌酸锌铋(Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7,BZN)和铌酸镁铋(Bi1.5MgNb1.5O7,BMN)两种铋基焦绿石薄膜的刻蚀情况.结果表明,刻蚀配比V(HF):m(NH4F):V(HNO3):V(H2O)为10 mL:3 g:10 mL:10 mL时,BZN和BMN薄膜能得到有效刻蚀,刻蚀速率分别为7 nm/s和4 nm/s,图形刻蚀精度高.最后讨论了该刻蚀液对铋基焦绿石薄膜的刻蚀机理,加入NH4F作为络合剂能避免刻蚀过程中三氟化铋BiF3难溶沉淀物的生成,加入HNO3作为助溶剂可以调节刻蚀速率,从而提高湿法刻蚀的图形精度.

关键词：铋基焦绿石薄膜、湿法刻蚀、图形化、微波可调介质薄膜材料、刻蚀液

所属期刊栏目：47

分类号：TQ135.32

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20060614009

在线出版日期：2010-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：499-502