阳极氧化铝膜孔径的测量

摘要：

论述了一种对阳极氧化铝膜孔径进行测定和评估的方法.此方法通过对已得的阳极氧化铝薄膜提取样本制备扫描电镜(SEM)图像进行处理和分析,最终得到膜孔的尺寸结果.阳极氧化铝膜的膜孔尺寸处在nm级别,对其测量误差的要求很高.而限于SEM的设备特性和精度,通过SEM读取的原始阳极氧化铝膜的图像存在着大量噪声(以椒盐噪声为主).鉴于此,首先对阳极氧化铝膜的原始SEM图像进行多重滤波处理(中值滤波、各向异性扩散滤波以及阚值滤波),得到具有膜孔结构信息的阈值图像.经过多重滤波的这一阈值图像仍存在着很多污点,这些污点对阳极氧化铝膜膜孔尺寸的评估无任何意义,于是继续将阈值图像进行去污处理,最后通过设计的"染色"算法,实现了对膜孔尺寸的实际测量.实验证明,此方法的适用性较强.

关键词：纳米膜、阳极氧化铝膜、孔径测量、扫描电镜、图像处理、染色算法

所属期刊栏目：45

分类号：TN304.21;O1484.5(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50776095

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：720-723