基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究

摘要：

介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域.利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000 Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数据可以看出,DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流,而软盘将被淘汰;利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工,刻蚀出"河南理工大学"的字样.

关键词：原子力显微镜、信息存储介质、光盘、软盘、检测

所属期刊栏目：42

分类号：TQ597;TG502.37

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：139-141