10.3969/j.issn.1671-4776.2005.03.004
MgO和STO基片上制备YBCO高温超导薄膜生长研究
用AFM和XRD研究在MgO和STO基片上外延生长2~200nm的YBCO高温超导薄膜的生长机制.采用倒筒式直流溅射装置,首次实现单轴驱动双轴旋转技术,本质上实现同时在MgO基片和STO基片上沉积同一均匀厚度的YBCO薄膜.
高温超导、薄膜、钛酸锶、氧化镁、双轴旋转
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O484.1(固体物理学)
国家高技术研究发展计划(863计划)2002AA306271
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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