迈克耳孙干涉仪中动镜微小位移量的测量方法研究

摘要：

研究了迈克耳孙干涉仪中可动镜微小位移量的精确测量方法.利用单色光定标确定条纹间距与像素间隔之间的关系,进而利用 白光干涉通过测量零级暗纹中心的移动量,由此得到动镜的微小位移量.对于单色光条纹图,通过逐行傅里叶变换、移频、低通滤波与反变换消除条纹噪声,进而利用多项式拟合、条纹极值点 自动搜索等得到条纹间距与像素间的换算关系;而对于白光条纹图,则利用条纹平滑、设定限定性阈值消除个别奇异极值点和各行值平均等方法得到其中央零级暗纹中心移过的像素间隔.由此最终精确得到动镜的微小位移量.论文算法综合运用了图像处理技术、最小二乘拟合技术、条纹极值点 自动搜索技术等,实现了对迈克耳孙干涉仪中动镜微小位移量测量算法的智能化,可用于标定干涉仪中平面参考镜的微小位移,也可用于测量透明薄膜的厚度.

关键词：迈克耳孙干涉仪、微小位移、图像处理、干涉测量术、白光干涉

所属期刊栏目：33

分类号：TP391.41;O436.1;TN911.73

在线出版日期：2023-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：136-142