从物理学发展看MEMS的跨学科研究

摘要：

本文简述了微机电系统(MEMS)在各领域的广泛应用,以物理学观点出发分析研究了MEMS器件设计中互相关联的多物理场耦合问题.指出新技术学科存在于物理学发展本身,物理学是MEMS和许多交叉科学发展的坚实基础.

关键词：物理学、耦合场、微机电系统、交叉学科

所属期刊栏目：15

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-41,50