10.3969/j.issn.1009-7104.2001.02.012
薄膜厚度测控技术中的物理原理
针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术,简明介绍了光电极值法、干涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用.
膜厚测控、极值法、干涉法、石英晶体振荡法、椭偏仪法
11
O4(物理学)
2007-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
38-41
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10.3969/j.issn.1009-7104.2001.02.012
膜厚测控、极值法、干涉法、石英晶体振荡法、椭偏仪法
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2007-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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