利用飞秒激光直写实现透明介电材料中三维微纳结构的制备与集成

摘要：

本文综述了利用飞秒激光三维直写技术，在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构，并进一步构筑新型微纳光子器件的原理、技术与应用。

关键词：飞秒激光直写、微加工、介电材料、微流体、微光学

所属期刊栏目：32

分类号：O434.19(光学)

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共16页

页码：98-113