温度弱敏感光纤高温压力传感器

摘要：

针对高温压力测量需求,提出了一种温度弱敏感的光纤微机械电子(MEMS)压力传感技术.该技术采用非本征光纤法布里-珀罗干涉模型,利用MEMS压力敏感膜片对干涉光信号进行被动调制,进而实现压力信号测量.通过仿真计算热应力和材料自身热膨胀引入的温度寄生响应来分析温度信号对膜片位移的影响.在此基础上结合亚微米级白光干涉响应技术和低热应力封装工艺,研制了高温压力传感器样机.实验测试结果表明,在20-400℃范围内,可满足0-100 kPa压力测量,由温度变化引入测量误差低于4%.

关键词：高温、光纤压力传感、法布里-珀罗干涉、微机械电子芯片

所属期刊栏目：73

分类号：TP212;TN305.94;F323.3

在线出版日期：2024-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：138-146