菲涅尔衍射光刻

摘要：

通过合理选取等间距采样点的数目,利用快速傅里叶变换算法解释了有限通光光阑产生的"内密外疏"菲涅尔衍射条纹.基于菲涅尔衍射,在静态曝光、动态扫描条件下分别实现了约190 nm最小特征尺寸图形制备,以及约350 nm线宽线条直写.菲涅尔衍射光刻无需复杂的光学透镜组合,无需任何微纳衍射光学元件,且具有较大的聚焦容差.该方法有望成为一种新型的,低成本、高灵活度的亚波长图形制备手段.

关键词：菲涅尔衍射、扩束系统、纳米光刻、直写光刻

所属期刊栏目：72

分类号：TN98;TN305.7;TP391.41

资助基金：安徽省重点研究与开发计划项目;资助的课题

在线出版日期：2023-02-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：115-122