二维原子晶体的转移堆叠方法及其高质量电子器件的研究进展

摘要：

可剥离至原子层厚度的层状材料被称为二维原子晶体,是凝聚态物理研究的前沿材料体系之一.与体材料相比,二维原子晶体的原子完全暴露,对外界环境极为敏感,因此剥离、转移、旋转、堆叠、封装和器件加工技术对于其电子器件质量和电学输运性质研究尤为关键.本文介绍了二维原子晶体转移工艺的重要发展,尤其是对其二维电子气的输运性质有突破性提升的进展.针对基于二维原子晶体的电子器件,从二维电子气的无序、接触电阻、载流子迁移率、可观测的量子霍尔态等角度衡量器件质量,并详细介绍了与之相对应的转移技术、器件结构与加工工艺.

关键词：二维原子晶体、转移方法、二维异质结、电输运

所属期刊栏目：70

分类号：O469;TN304.23;F23

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;陕西省自然科学基础研究计划;创新基金

在线出版日期：2021-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共34页

页码：58-91