微波退火和快速热退火下钛调制镍与锗锡反应

摘要：

本文研究了1 nm钛作为插入层的条件下,镍与锗锡合金在不同退火温度下的固相反应,比较了微波退火和快速热退火对镍锗锡化物形成的影响.研究结果表明:在微波退火300℃、快速热退火350℃条件下,可以形成连续平整的镍锗锡薄膜.通过进一步分析镍锗锡薄膜的元素分布,发现1 nm钛插入层发生"层转移"现象,钛在镍与锗锡合金反应后分布在样品的表面,由"插入层"变为"盖帽层";而锡元素因受到金属钛的调制作用,主要分布在镍锗锡薄膜/锗锡衬底的界面.

关键词：微波退火、快速热退火、锗锡合金、钛插入层

所属期刊栏目：70

分类号：TN304.32;TM912.9;TG146.14

资助基金：国家自然科学基金;资助的课题

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：286-291