非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展

摘要：

等离子体技术在现代材料制备和表面处理过程中起着重要的作用.本文聚焦于非热等离子体(NTP)材料表面处理及功能化应用,重点综述NTP在材料表面处理及功能化过程中的最新研究进展,包括激励产生等离子体的等离子体源、NTP材料表面处理及功能化工艺以及具体应用.其中,激励产生等离子体的等离子体源包括感应耦合等离子体/容性耦合等离子体、电子回旋共振/表面波等离子体、螺旋波等离子体、大气压射流等离子体和介质阻挡放电等;NTP材料表面处理及功能化工艺包括等离子体表面接枝和聚合、等离子体增强化学气相沉积和等离子体辅助原子层沉积、等离子体增强反应刻蚀和等离子体辅助原子层刻蚀工艺等;等离子体表面处理及功能化的具体应用领域包括亲水/疏水表面改性、表面微纳加工、生物组织表面处理、催化剂表面处理等.最后提出了NTP技术材料表面处理及功能化的应用前景与发展趋势.

关键词：等离子体、表面处理、接枝、聚合、沉积、刻蚀

所属期刊栏目：70

资助基金：国家自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市委组织部优秀人才青年拔尖项目;北京市教委科技项目

在线出版日期：2021-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共19页

页码：14-32