两种Ge-Sb-Se薄膜的光学性质及微观结构

摘要：

提出一种综合利用区域逼近法和柯西拟合法精确获取Ge20Sb15Se65薄膜和Ge28Sb12Se60薄膜透射光谱范围内任意波长处折射率与色散的多点柯西法,并从理论上证明了该方法的准确性.实验上,采用磁控溅射法制备了这两种Ge—Sb—Se薄膜,利用傅里叶红外光谱仪测得了透射光谱曲线,运用分段滤波的方法去除噪声,然后使用多点柯西法得到了这两种薄膜在500—2500 nm波段的折射率、色散、吸收系数和光学带隙.结果表明Ge28Sb12Se60薄膜的折射率和吸收系数大于Ge20Sb15Se65薄膜,Ge28Sb12Se60薄膜的光学带隙小于Ge20Sb15Se65薄膜.最后,利用拉曼光谱对两种薄膜的微观结构进行了表征,从原子之间的键合性质解释了这两种硫系薄膜不同光学性质的原因.

关键词：红外硫系薄膜、柯西模型、光学性质、微观结构

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资助基金：浙江省自然科学基金;宁波大学王宽诚幸福基金资助的课题

在线出版日期：2020-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：169-179