Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001) 量子双环形貌的影响

摘要：

采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings,CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加,CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.相关研究结果对液滴外延法制备密度可控的GaAs同心量子双环具有一定的指导意义.

关键词：同心量子双环、团簇扩散动力学、原子力显微镜

所属期刊栏目：68

资助基金：国家自然科学基金61564002,11664005;贵州省科学技术基金黔科合基础[2017]1055;贵州大学引进人才科研项目贵大人基合字[2015]23号资助的课题

在线出版日期：2019-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：102-107