矢量光共焦扫描显微系统纳米标准样品的 制备与物理测量精度

摘要：

针对超分辨领域分辨率测量标准的缺失情况,本文介绍了一种用于纳米尺度分辨率测试的标准样品的设计方案和制备方法,该样品适用于矢量光共聚焦激光扫描显微系统.该设计方案包含一系列测量图案和明确的指示标记,具有测量范围宽、线宽梯级序列分布合理、制备精度高等特点.首先在非晶硅片上实现硅纳米标准样品的制备,并经过多次探索工艺,提高了测试图案的精度.光学测试结果证实该纳米标样可用于分辨率测试,同时测得矢量光共聚焦激光扫描显微镜的分辨率为96 nm(n=1.52,405 nm光源).针对硅纳米标准样品低对比度的问题,本文提供石英片上金属纳米标准样品的制备方法作为补充.纳米标准样品的实现,为点扫描式超分辨显微镜的分辨率指标提供了一种更严谨的测试途径,同时能够为显微镜的调试提供原理性指导.测试中发现纳米尺度的光学成像效果除了受到样品形貌的影响外,还受到到样品的光电物性的影响,其相互作用机理尚待进一步深入研究.

关键词：微纳加工、标准样品、超分辨、共聚焦激光扫描显微镜

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资助基金：国家自然科学基金11534017, 11704421;中央高校基本科研业务费专项资金16lgpy53, 171gpy20, 17lgjc39;广州市科技计划 201805010004 资助的课题

在线出版日期：2019-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：358-366