InGaZnO薄膜晶体管背板的栅极驱动电路静电释放失效研究

摘要：

本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array,GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor,IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiNx/SiO2栅极绝缘层;源漏极金属层成膜前就发生了ESD破坏;距离ESD破坏区域越近的IGZO TFT,电流开关比越小,直到源漏极与栅极完全短路.本文综合IGZO TFT器件工艺、GOA区与显示区金属密度比、栅极金属层与绝缘层厚度非均匀性分布等因素,采用ESD器件级分析与系统级分析相结合的方法,提出栅极Cu:SiNx/SiO2界面缺陷以及这三层薄膜的厚度非均匀分布是导致GOA电路中沟道宽长比大的IGZO TFT发生ESD失效的关键因素,并针对性地提出了改善方案.

关键词：Cu互连、InGaZnO薄膜晶体管、阵列基板栅极驱动、静电释放

所属期刊栏目：68

在线出版日期：2019-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：284-290