化学气相沉积石墨烯薄膜的洁净转移

摘要：

石墨烯因其优异的性能在很多领域具有广阔的应用前景.目前石墨烯薄膜主要是以铜作为催化基底,通过化学气相沉积法制备.这种方法制备的石墨烯薄膜需要被转移到目标基底上进行后续应用,而转移过程则会对石墨烯造成污染,进而影响石墨烯的性质及器件的性能.如何减少或避免污染,实现石墨烯的洁净转移,是石墨烯薄膜转移技术研究的重要课题,也是本综述的主题.本综述首先简单介绍了石墨烯的转移方法;进而重点讨论由于转移而引入的各种污染物及其对石墨烯性质的影响,以及如何抑制污染物的引入或如何将其有效地去除;最后总结了石墨烯洁净转移所存在的挑战,展望了未来的研究方向和机遇.本综述不仅有助于石墨烯薄膜转移技术的研究,对整个二维材料器件的洁净制备也将有重要参考价值.

关键词：石墨烯、化学气相沉积、转移、污染

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资助基金：国家自然科学基金51802036,51772043;国家留学基金201708515008;四川省重点研发项目2018GZ0434;四川省应用基础研究项目2019YJ0168资助的课题

在线出版日期：2019-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

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