非对称光束干涉制备二维微纳光子结构研究

摘要：

研究了基于不同偏振组合的非对称4束和5束光干涉制备二维微纳光子结构.通过改变光束的参数组合获得了枝节状、波形状等结构.在非对称光束干涉中,光束的构型和偏振改变了波矢差分布,从而改变晶格形貌和对比度.利用CHP-C感光胶开展了全息光刻实验制备,获得了与模拟一致的光子结构.该研究为制备新颖光子结构提供了有效途径,此类光子结构还可以为制备不同类型的金属点阵结构提供模板,对新型光子器件的制备和应用研究具有一定的促进作用.

关键词：多光束干涉、非对称、光子结构、偏振

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资助基金：山东省高等学校科技计划J14LJ06;山东省自然科学基金ZR2014FP012;国家自然科学基金批准号:11274189,11504194资助的课题.Project supported by the Project of Shandong Province Higher Educational Science and Technology Program,ChinaGrant J14LJ06;the Natural Science Foundation of Shandong Province,ChinaGrant ZR2014FP012;the National Natural Science Foundation of ChinaGrant .11274189,11504194

在线出版日期：2018-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：364-370