光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感技术研究进展

摘要：

光纤法布里-珀罗干涉温度和压力传感器具有灵敏度高、制作简单、成本低、体积小和抗电磁干扰能力强等优点,己被广泛应用于军事和民用领域.在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域,微型光纤温度和压力传感器发挥着重要的作用,国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文综述了光纤法布里-珀罗干涉仪的基本原理、制备技术、及其压力和温度传感应用的研究进展.详细介绍了湿法化学腐蚀制备法、电弧放电制备法、飞秒激光制备法、聚合物辅助制备法等常见光纤法布里-珀罗腔传感器的制作工艺,分析了不同制作工艺的优缺点;详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪在温度传感、压力传感和温压一体传感领域的应用;最后对光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感器的发展进行了总结和展望.

关键词：光纤传感器、法布里-珀罗干涉仪、温度传感器、压力传感器

所属期刊栏目：66

分类号：TN2;TP2

资助基金：国家自然科学基金61635007,61425007,61377090,61575128;广东省自然科学基金2014A030308007,2014B050504010,2015B010105007,2015A030313541;深圳市科技创新委员会项目GJHZ2015031309375575,JCYJ20160520163134575,JCYJ20160427104925452;珠江学者项目资助的课题.Project supported by the National Natural Science Foundation of ChinaGrant .61635007,61425007 61377090,61575128;the Guangdong Natural Science Foundation,ChinaGrant .2014A030308007,2014B050504010,2015B010105007,2015A030313541;the Science and Technology Innovation Commission of Shenzhen,ChinaGrant .GJHZ20150313093755757,JCYJ20160520163134575,JCYJ20160427104925452;Pearl River Scholar Fellowships,China

在线出版日期：2017-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共17页

页码：87-103