考虑底充胶固化过程的InSb面阵探测器结构分析模型

摘要：

液氮冲击中InSb面阵探测器的易碎裂特性制约着探测器的成品率,建立适用于面阵探测器全工艺流程的结构模型是分析、优化探测器结构的有效手段.本文提出了用底充胶体积收缩率来描述底充胶在恒温固化中的体积收缩现象,同时忽略固化中底充胶弹性模量的变化来建立底充胶固化模型,给出了底充胶在恒温固化中生成的热应力/应变上限值.借鉴前期提出的等效建模思路,结合底充胶固化后的自然冷却过程和随后的液氮冲击实验,建立了适用于InSb面阵探测器全工艺流程的结构分析模型.探测器历经底充胶固化、自然冷却至室温后的模拟结果与室温下拍摄的探测器形变分布照片高度符合.随后模拟液氮冲击实验,得到面阵探测器中累积的热应力/应变随温度的演变规律,热应力/应变值极值出现的温度区间与液氮冲击实验结果相符合.这表明所建模型适用于预测不同工艺阶段中面阵探测器的形变分布及演变规律.

关键词：焦平面、锑化铟、结构应力

所属期刊栏目：66

分类号：TN3;TG1

资助基金：the Young Scientists Fund of the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 61505048;the Aero Science Foundation of China Grant No.20152442001.国家自然科学基金青年科学基金61505048;航空科学基金20152442001资助的课题

在线出版日期：2017-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：254-262