ICP微等离子体射流在快速成形制造中的应用?

摘要：

本文开展了大气压甚高频感应耦合(ICP)微等离子体射流的特性与应用研究.在150 MHz甚高频，功率为90 W条件下获得温度高达上千度的温热等离子体射流，射流长度近3 cm.随着气流量的增加射流将呈现层流到湍流的转变，长度先增后减；而功率对于射流长度的影响存在着一个上限，当等离子体吸收的能量与扩散损失的能量达到平衡时，射流长度将达到最大.利用这种ICP微等离子体射流进行了微尺寸金属铜的快速成形制造，得到了球冠状和柱状铜金属件.在扫描电子显微镜下观察到沉积物表面最小颗粒尺寸远小于铜粉颗粒；X射线衍射结果显示沉积物表面存在弱氧化物峰，这是沉积过程中空气被射流卷入所致.

关键词：感应耦合微等离子体射流、微尺寸、金属快速成形

所属期刊栏目：65

分类号：TG1;O53

资助基金：国家自然科学基金批准号:11375192资助的课题.* Project supported by the National Natural Science Foundation of China Grant 11375192

在线出版日期：2016-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：145201-1-145201-5