纤锌矿GaN外延层薄膜热膨胀行为的变温Raman散射研究?

摘要：

本文对纤锌矿结构GaN外延层薄膜的热膨胀行为进行了研究，结合热膨胀系数的物理意义与变温Raman散射时声子频移的变化规律，研究了热膨胀系数与变温Raman散射之间的关系。结果表明：通过测量Raman声子E2(high)， A1(TO)和E1(TO)频移与温度之间的线性关系，结合相应声子Gruneisen参数的涵义，可对纤锌矿结构GaN外延层薄膜在一定温度范围内的热膨胀系数进行测量。本文提供了一种表征纤锌矿结构GaN外延层薄膜热膨胀行为的有效方法，为进一步研究III族氮化物外延层薄膜在生长过程中热膨胀系数的匹配、降低外延层薄膜中的位错密度并提高发光二极管的发光效率提供了理论依据。

关键词：外延层薄膜、热膨胀系数、Gruneisen参数、变温Raman散射

所属期刊栏目：65

分类号：TN3;O46

资助基金：陕西省自然科学基础研究项目2015JM6327;陕西省教育厅科学研究计划2016JK1593;西安石油大学博士科研启动基金Z14086;西安石油大学材料加工工程重点学科YS32030203;陕西省大学生科研创新训练项目资助的课题.* Project supported by the National Science Foundation of Shaanxi Province, ChinaGrant 2015JM6327;the Scientific Research Program of Shaanxi Provincial Education Department, ChinaGrant 2016JK1593;the Youth Science and Technology Innovation Fund of Xi’an Shiyou University, ChinaGrant Z14086;the Key Subject of Materials Processing Engineering of Shaanxi Province, ChinaGrant YS32030203;the Scientific Innovation and Training Project of College Students in Shaanxi Province, China

在线出版日期：2016-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：130702-1-130702-7