面向谐振式微光学陀螺应用的球形谐振腔DQ乘积优化?

摘要：

基于谐振式光学陀螺高灵敏度、低成本与微型化的发展需求,为了实现高灵敏度的谐振式微光机电陀螺,提出了以集成光学微谐振腔领域里高Q值、大直径谐振腔的制作为目标,应用方向为谐振式光学陀螺的球形光学微谐振腔核心敏感单元.在实验中以氢火焰作为热源采用熔融法制备球形光学微谐振腔.通过调节氢气的流量控制氢火焰热源面积,制备了不同直径(300—2200μm)的球形谐振腔,分析了球形谐振腔Q 值、DQ乘积、陀螺灵敏度与谐振腔直径D的对应关系及其原因,获得了最优参数的面向谐振式光学陀螺的球形谐振腔敏感单元. D=1260μm时,球腔品质因数Q=7.18×107,得到的最优陀螺灵敏度约为10?/h,满足商业级应用的需求,为芯片级、高精度、低成本的新型谐振式光学微腔陀螺的研究奠定了实验基础.

关键词：球形谐振腔、DQ乘积、灵敏度、微光学陀螺

分类号：TP2;TN2

资助基金：国家自然科学基金杰出青年科学基金51225504;国家自然科学基金重点项目91123036;山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助的课题.@@@@* Project supported by the National Science Fund for Distinguished Young Scholars of ChinaGrant 51225504;the Key Program of the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 91123036;the Program for the Top Young Academic Leaders of Higher Learning Institutions of Shanxi

在线出版日期：2015-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：154206-1-154206-8