准随机矩形孔阵列透射光栅

摘要：

自支撑透射光栅的周期加强筋结构在降低光栅的通光面积、减少光栅衍射效率的同时，也影响了光栅原有的衍射模式，致使其应用更加复杂。为了应对这一问题，作者提出了利用在高Z材料薄膜上准随机排布矩形孔实现自支撑透射光栅的技术方法。理论分析与实验结果表明，利用新方法制作的透射光栅较好地摆脱了周期性加强筋对透射光栅衍射模式的强加干扰。

关键词：透射光栅、软X射线、激光等离子体诊断、惯性约束聚变

分类号：TU3;TS1

资助基金：国家重大仪器设备开发专项2012YQ130125;国家自然科学基金11375160资助的课题

在线出版日期：2015-04-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：074201-1-074201-7