元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长过程模拟?

摘要：

利用仿真方法从原子尺度研究薄膜生长过程是当前薄膜研究领域的热点。目前，仿真方法主要在纳米尺度模型实现，时空需求很大。针对这一问题，本文提出元胞和蒙特卡洛相结合的模拟方法，实现对微米尺度模型薄膜生长过程的模拟。利用元胞方法来实现模型表示以及演化计算，从而降低对内存空间的要求，提高计算效率，并使用蒙特卡洛方法计算粒子的扩散概率。通过对氮化硅薄膜生长过程进行具体研究，将模拟结果与实际实验结果和分子动力学演化结果进行表面形貌和成分的比较，验证了该方法的有效性。

关键词：薄膜生长、元胞方法、蒙特卡洛方法

资助基金：国家科技重大专项批准号:2011ZX2403-002资助的课题.* Project supported by the National Science and Technology Major Project of the Ministry of Science and Technology of China Grant 2011ZX2403-002

在线出版日期：2015-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：529-535