基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究?

摘要：

本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击,形成不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行了研究,同时,利用磁过滤真空阴极电弧技术,在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间的四面体非晶碳薄膜。采用原子力显微镜对各基底的织构进行形貌分析,结果表明,高能粒子束的轰击对基底表面形貌有较大的影响,根据离子束轰击时间的不同,可以在基底表面形成各种不同规则的纳米织构,轰击15 min后发现基底表面形成点阵纳米织构,之后随着时间的增加,基本维持点阵结构。通过X射线光电子能谱仪和摩擦磨损试验仪对沉积在具有不同织构的基底上的ta-C薄膜进行测试,研究表明,基底表面纳米织构的非晶层结构引起薄膜内部sp3键的含量降低,释放了薄膜的内应力,同时发现基底表面纳米织构将ta-C薄膜磨损时间从不足10 min提高到约70 min,有效提高了薄膜的耐磨性。

关键词：四面体非晶碳、离子束改性技术、表面织构、X射线光电子能谱

资助基金：陕西省“13115”科技创新工程重大科技专项2009ZDKG-29资助的课题.* Project supported by the Key Program of “13115”Science and Technology Originality Innovation Project of Shaanxi

在线出版日期：2015-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：494-499