激光辐照对热退火金属/掺氟二氧化锡透明导电薄膜光电性能的影响?

摘要：

采用532 nm纳秒脉冲激光对热退火的铝(Al)/掺氟二氧化锡(FTO)、铜(Cu)/FTO和银(Ag)/FTO三种双层复合薄膜表面分别进行处理,结果显示薄膜样品的光电性能都得到提高.其中,热退火Ag/FTO薄膜的平均透光率(400—800 nm)增幅最大,从72.6%提高到80.5%,主要是由于其表面产生了具有减反增透作用的光栅结构.激光辐照后热退火Ag/FTO薄膜的导电性也略有提高,其方块电阻从5.6?/sq下降到5.3?/sq,原因主要是激光辐照的热效应造成的退火作用使薄膜的晶粒尺寸增大,减少了晶界散射而使载流子迁移率提高.计算结果显示,激光辐照后热退火Ag/FTO薄膜的品质因子从0.73×10?2??1增大为2.16×10?2??1,表明其综合光电性能得到显著提高.激光辐照可同步实现薄膜表面光栅结构的制备和附加退火作用,这为金属层复合透明导电薄膜光电性能的综合优化提供了新的思路.

关键词：透明导电薄膜、激光辐照、光栅结构、光电性能

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2011CB013000;江苏省普通高校博士研究生科研创新计划资助项目CXZZ13_0663;江苏大学高级专业人才科研启动基金13JDG045;江苏省光子制造科学技术中心重点实验室开放基金批准号:GZ201307资助的课题.* Project supported by the National Basic Research Program of ChinaGrant 2011CB013000;the Jiangsu Province Research Innovation Program of College Graduate, ChinaGrant CXZZ13_0663;the Senior Talent Research Foun-dation of Jiangsu University, ChinaGrant 13JDG045;the Open Research Fund Program of Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, ChinaGrant GZ201307

在线出版日期：2015-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：377-383