垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验?

摘要：

介绍垂直多结器件的结构，给出了热迁移制结的工艺条件和结果；介绍了处理器件电极引线的隔离线方法，解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题，解决了把所有P型区域连接起来的问题，达到了敏感区金属零遮挡的目的。描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成；给出了X光强与光电流电压之间的数学模型和几个重要参数，介绍了器件输出电压与X光强度之间的测量关系，理论与实际情况符合得非常好。最后对测量数据做了分析，证明器件有足够的灵敏度和分辨率。

关键词：垂直多结、集成X射线探测器、性能及测量

分类号：TM9;TP3

资助基金：福建省高校服务海西建设重点项目A100;内蒙古自然科学基金批准号:86044资助的课题.@@@@* Project supported by the Important Item of University Serving Haixi of Fujian Provinca, ChinaGrant A100;the Natural Science Foundation of Inner Mongolia, ChinaGrant 86044

在线出版日期：2015-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：248501-1-248501-9