化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究?

摘要：

石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体，具有优良的电学、光学、热学及力学等性质。产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一。化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能。本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展，综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数，包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等。最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向。

关键词：石墨烯、化学气相沉积法、工艺参数、大尺寸

分类号：TB3;TG1

资助基金：国家自然科学基金批准号:61274067,60876045资助的课题.@@@@* Project supported by the National Natural Science Foundation of China Grant .61274067,60876045

在线出版日期：2015-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：248103-1-248103-11