N2-H2容性耦合等离子体电非对称效应的particle-in-cell/Monte Carlo模拟

摘要：

H2-N2混合气体电容性耦合射频放电在有机低介电系数材料刻蚀中具潜在研究意义.采用particle-in-cell/Monte Carlo模型模拟了双频(13.56 MHz/27.12 MHz)电压源分别接在结构对称的两个电极上的H2-N2容性耦合等离子体特征,研究了其电非对称效应.模拟结果表明,通过调节两谐波间的相位角θ,可以改变其电场、等离子体密度、离子流密度的轴向分布及离子轰击电极的能量分布.当相位角θ为0?时,低频电极(晶片)附近主要离子(H+3)的密度最小,离子(H+3, H+2, H+)轰击低频电极的流密度及平均能量最高；当θ从0?变化90?时,低频电极的自偏压从-103 V到106 V近似线性增加,轰击电极的离子流密度变化约±18%, H+离子轰击低频电极的最大能量约减小2.5倍,轰击电极的平均能量约变化2倍,表明氢离子能量和离子流几乎能独立控制.

关键词：H2-N2等离子体、电非对称效应、particle-in-cell/Monte Carlo模型

分类号：52.80.Pi,52.25.-b,52.65.-y

资助基金：the Hebei Natural Science Foundation of China Grant A2012205072

在线出版日期：2014-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：185205-1-185205-10