化学气相沉积法制备石墨烯的铜衬底预处理研究

摘要：

铜作为一种在化学气相沉积法制备石墨烯中被广泛采用的衬底材料，其表面形貌和质量对石墨烯的品质有较大的影响。提出了一种简单有效的铜衬底预处理方法，在生长石墨烯前，将铜衬底在浓度为1 mol/L的硝酸铁水溶液中进行预刻蚀，研究了不同刻蚀时间的影响。发现当预刻蚀时间为90 s时，经石墨烯生长后得到了相对平整且无杂质颗粒的表面；与盐酸预刻蚀及电化学抛光方法进行了比较，实验结果表明，硝酸铁溶液预刻蚀的效果优于盐酸处理，可与电化学抛光效果比拟，且操作更为简单快捷。经过不同型号铜衬底实验验证，此方法具有普遍适用性。

关键词：石墨烯、铜、预处理、化学气相沉积

分类号：TN3;TN2

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2011CB013100;国家科技支撑计划2011BAE01B14资助的课题

在线出版日期：2014-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：176801-1-176801-7