高功率脉冲磁控溅射的阶段性放电特征

摘要：

本文从放电靶电流出发，采用一种新的研究方法，即将靶电流分解为多个代表具体放电特性的特征参数，全面而系统的研究了不同的工作气压条件下，靶电流各特征参数随靶电压的增加而进行的演化。结果发现高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)放电靶电流在靶电压由低向高增加的过程中，出现靶电流峰值和平台值的交替变化，体现出明显的阶段性放电特征，且不同的放电阶段在不同气压下出现一定的移动，会在测量范围内出现某些放电阶段的缺失。本文还通过等离子体发射光谱对HPPMS放电靶前等离子体测量发现五个不同的放电阶段分别主要对应氩原子、铬原子、氩离子、铬离子和氩、铬高价离子的放电，但不同的放电条件下相邻的阶段会出现一定程度的交叠。

关键词：高功率脉冲磁控溅射、放电靶电流、工作气压、阶段性放电

分类号：TB4;O48

资助基金：国家自然科学基金51301004, U1330110;中国博士后科学基金2013M530010;哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室开放课题研究基金AWJ-M13-13资助的课题

在线出版日期：2014-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：175201-1-175201-9