方波调制下自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数的时域模型*

摘要：

本文建立了用于测量半导体载流子输运特性(载流子寿命、载流子扩散系数和前表面复合速度)的方波调制下自由载流子吸收(free carrier absorption, FCA)检测技术的时域理论模型。通过数值模拟,分析了在不同调制频率下时域曲线的变化趋势以及各个载流子输运参数对时域曲线的影响。结果表明方波调制下的自由载流子吸收的时域信号对各个参数都用较高的灵敏度,且参数值的测量范围大于频域测量范围。

关键词：自由载流子吸收、载流子输运特性、方波调制

分类号：TN2;TM9

资助基金：国家自然科学基金61107078;中央高校基本科研业务费资助的课题.@@@@Project supported by the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 61107078;the Fundamental Research Funds for the Central Universities of China

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：137801-1-137801-9