硅基光子集成研究进展?

摘要：

报道了国际上关于硅基光子集成的最新研究进展和本课题组在该领域的研究成果，包括对一些光收发模块、III-V族/硅基激光器等集成器件的结构改进和工艺的探索，展示了兼容互补金属氧化物半导体工艺的硅基光子集成在信息技术领域中的巨大前景。可以预见，硅基光子集成已成为硅光子学的主要研究内容，硅光子学及硅基光子集成的发展目标是趋向更高速率、更低功耗及更大集成密度。

关键词：硅光子学、光子集成、光子集成回路、光电子集成

分类号：TN9;TN3

资助基金：国家重点基础研究发展计划2011CB301701;国家高技术研究发展计划2012AA012202;国家自然科学基金批准号:61275065资助的课题.@@@@ Project supported by the State Key Development Program for Basic Research of ChinaGrant 2011CB301701;the National High Technology Research and Development Program of ChinaGrant 2012AA012202;the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 61275065

在线出版日期：2014-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：104218-1-104218-8