全三维电离粒子有源像素探测器优化仿真?

摘要：

提出了一种双外延高能离子注入的单片集成有源像素探测器的传感器结构，以提升传感器对电荷的收集性能和辐射加固，并进行了三维工艺模拟和物理级器件仿真计算。研究结果表明，所提出的传感器结构改善了内部电场和电势的分布，且目标电极的电荷收集效率提高70%，电荷收集时间减少64%。此外，当等效中子辐射流通量在1012—1015 cm?2范围内时，所提出的传感器结构比标准传感器结构有更高的电荷收集能力。

关键词：单片集成有缘像素传感器、探测器、电荷收集、高能离子注入

分类号：TP3;TV1

资助基金：教育部科学技术研究重大项目313017;高等学校博士学科点专项科研基金20122304110016;中央高等学校基本科研业务费批准号:HEUCF130818, HEUCF140814资助的课题.@@@@ Project supported by the Foundation for Key Program of the Ministry of Education, ChinaGrant 313017;the Specialized Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of ChinaGrant 20122304110016;the Fundamental Research Funds for the Central Universities of ChinaGrant . HEUCF130818, HEUCF140814

在线出版日期：2014-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：100702-1-100702-7