非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的低频噪声特性与分析

摘要：

本文针对底栅结构非晶铟锌氧化物薄膜晶体管的低频噪声特性开展实验与理论研究.由实验结果可知：受铟锌氧化物与二氧化硅界面处缺陷态俘获与释放载流子效应的影响，器件沟道电流噪声功率谱密度随频率的变化遵循1/fγ(γ≈0.75)的变化规律；此外，器件沟道电流归一化噪声功率谱密度随沟道长度与沟道宽度的增加而减小，证明器件低频噪声来源于沟道的闪烁噪声，可忽略源漏结接触及寄生电阻对器件低频噪声的影响.最后，基于载流子数涨落及迁移率涨落模型，提取γ因子与平均Hooge因子，为评价材料及器件特性奠定基础.

关键词：非晶铟锌氧化物、薄膜晶体管、低频噪声

分类号：TB3;O47

资助基金：国家自然科学基金61204112,61204089,61306099;中国博士后科学基金2012M521628;中央高校基本科研业务费2012ZM0003资助的课题

在线出版日期：2014-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：098503-1-098503-6