FeMn掺杂AlN薄膜的制备及其特性研究

摘要：

采用直流磁控共溅射技术,以Ar与N2为源气体,硅片为衬底成功地制备了Fe, Mn掺杂AlN薄膜.利用X射线衍射和拉曼光谱研究了工作电流、靶基距离等工艺参数的改变对薄膜结构的影响.利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对薄膜的表面形貌和组成成分进行了分析.利用振动样品磁强计在室温下对Fe, Mn掺杂AlN薄膜进行了磁性表征. Mn掺杂AlN薄膜表现出顺磁性的原因可能是由于Mn掺杂浓度较高,在沉积过程部分Mn以团簇的形式存在,反铁磁性的Mn团簇减弱了体系的铁磁交换作用. Fe掺杂AlN薄膜表现出室温铁磁性,这可能是AlFeN三元化合物作用的结果.随着Fe掺杂AlN薄膜中Fe原子浓度从6.81%增加到16.17%,其饱和磁化强度Ms由0.27 emu·cm?3逐渐下降到0.20 emu·cm?3,而矫顽力Hc则由57 Oe增大到115 Oe (1 Oe=79.5775 A/m),这一现象与Fe离子间距离的缩短及反铁磁耦合作用增强有关.

关键词：直流磁控共溅射、氮化铝薄膜、结构、磁性

分类号：O6 ;R73

资助基金：国家自然科学基金批准号:51272224,11164031资助的课题.@@@@Project supported by the National Natural Science Foundation of China Grant .51272224,11164031

在线出版日期：2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：363-369