基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法

摘要：

为了研究表面演化过程的机理，提出了一种基于压缩表示的三维表面演化方法来模拟等离子体刻蚀工艺，并着重探讨了对离子刻蚀的仿真。为了解决三维元胞自动机内存需求量大的问题，该方法将二维数组和动态存储方式相结合，既实现元胞信息的无损压缩存储，又保持三维元胞间的空间相关性。实验结果也表明该方法不仅节省了大量内存，而且在高分辨率条件下查找离子初始碰撞的表面元胞效率较高，满足高分辨率仿真的要求。将该方法应用于实现刻蚀工艺三维表面仿真中，模拟结果与实验结果对比验证了该方法的有效性。

关键词：等离子体刻蚀、元胞自动机、表面演化方法、高分辨率仿真

分类号：TP3;TH8

资助基金：国家科技重大专项批准号:2011ZX2403-002资助的课题.*Project supported by the National Science and Technology Major Project of the Ministry of Science and Technology of China Grant 2011ZX2403-002

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：481-488