双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断

摘要：

采用相分辨发射光谱法，对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究.放电腔室耦合电源电极的鞘层区域处观察到两种电子激发模式：鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引起的电子碰撞激发模式；并发现这两种激发模式均受到低频射频电源周期的调制.在纯Ar放电等离子体中，两种激发模式的激发轮廓相似；而在Ar-O2混合气放电等离子体中，随着含O2量的增加，二次电子的激发轮廓变弱.此外，利用相分辨发射光谱法对不同含O2量的Ar-O2混合气放电下Ar的750.4 nm谱线在低频周期内的平均光强随轴向分布进行了研究，得到了距耦合电源电极约3.8 mm处为双频容性耦合射频等离子体的鞘层边界.

关键词：双频容性耦合等离子体、等离子体鞘层、发射光谱

分类号：O53;TP3

资助基金：国家自然科学基金10975029;国家重大科技专项批准号:2011ZX02403-001资助的课题.*Project supported by National Natural Science Foundation of ChinaGrant 10975029;the Major National Science and Technology Project of ChinaGrant 2011ZX02403-001

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：361-367