高气压直流辉光CH4/H2等离子体的气相过程诊断*

摘要：

　　对高气压(约100 Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断。在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异。正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程。从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高。在高气压下,高甲烷浓度导致C2, C2H2及C2H4增多而C2H6减少。表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强。

关键词：高气压直流等离子体、光发射谱、质谱

分类号：O53;O46

资助基金：国家自然科学基金11075158;国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金批准号:J1103207资助的课题.*Project supported by the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 11075158;the Fund for Fostering Talents in Basic Science of the National Natural Science Foundation of ChinaGrant J1103207

在线出版日期：2013-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：165204-1-165204-5