原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究*

摘要：

　　介绍了新型材料ZnO的各项性能，并采用原子层沉积方法制备新型材料ZnO.实验中采用二乙基锌(DEZn)和水作为生长ZnO的前驱体源，在蓝宝石衬底上生长ZnO；采用氮气作为载气，生长温度为180?C.通过改变在实验中的通入锌源的时间，探索不同的DEZn的源的量对薄膜的成分(Zn/O)、薄膜的厚度、生长速率、晶型、表面形貌、三维形貌以及粗糙度的影响.

关键词：氧化锌、原子层沉积、Zn/O

分类号：TN3;TN4

资助基金：国家重大科技专项批准号:2009ZX02037-003资助的课题.*Project supported by the National Science and Technology Major Project of China Grant 2009ZX02037-003

在线出版日期：2013-08-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：419-427