Be薄膜应力的X射线掠入射侧倾法分析*

摘要：

　　由于铍薄膜极易被X射线穿透，传统的几何模式下很难获得有效的X射线衍射应力分析结果。本文采用掠入射侧倾法分析SiO2基底上Be薄膜残余应力，相比其他衍射几何方法，提高了衍射的信噪比，获得的薄膜应力拟合曲线线形较好。对Be薄膜的不同晶面分析，残余应力结果相同，表明其力学性质各向同性；利用不同掠入射角下X射线的穿透深度不同，获得应力在深度方向上的分布；由薄膜面内不同方向的残余应力相同，确定薄膜处于等双轴应力状态。

关键词：Be薄膜、X射线衍射、应力

分类号：TG1;O46

资助基金：国家自然科学基金11204280;等离子体物理重点实验室基金批准号:9140C6805020907资助的课题.*Project supported by National Natural Science Foundation of ChinaGrant 11204280;the Science and Technology on Plasma Physics Labora-tory, ChinaGrant 9140C6805020907

在线出版日期：2013-08-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：91-96