ZnO/Diamond/Si结构中声表面波传播特性分析*

摘要：

基于递归刚度矩阵方法,建立了多层结构声表面波表面有效介电常数模型,计算出了ZnO/Si结构声表面波的相速度频散特性,与实验结果符合较好,表明本文所建模型的准确性和有效性.进一步计算得到了三层结构(ZnO/Diamond/Si)声表面波的相速度和机电耦合系数的频散规律,获得此结构最优的高波速和高机电耦合系数组合及达到最优组合所需控制的变量,为高频高性能声表面波器件设计和优化提供了有益参考.

关键词：声表面波、多层结构、递归刚度矩阵、表面有效介电常数

在线出版日期：2013-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：276-282