大气压Ar／NH3介质阻挡辉光放电的仿真研究

摘要：

为了研究火气压下氩气（Ar）中掺杂氨气（NH3）的Ar／NH3介质阻挡辉光放电的放电机理，通过建立一‘个多粒子的自洽耦合流体模型，采用有限元方法进行数值计算，得到了气体间隙压降、介质表面电荷密度、放电电流密度随时间的周期变化波形，以及带电粒子、中性粒子与空间电场强度的时空分布．仿真计算结果表明：气体间隙的周期击穿过程主要由气隙电压控制，并受气隙两侧介质极板上积聚的表面电荷的影响．气隙间带电粒子密度和电场强度的时空分布表明本文的放电过程存在阴极位降区、负辉区、法拉第暗区、等离子体正柱区等辉光放电的典型区域，放电模式为大气压辉光放电．在Ar/NH3等离子体中，主要的正离子为NH＋，其次为Ar2＋，主要的负离子为NHi：NH3分解产生的主要的激发态分子为NH，NH2和N2H3，而最终的稳态产物主要是N2和H2．

关键词：介质阻挡放电、大气压辉光放电、低温等离子体、流体模型

所属期刊栏目：61

分类号：O461.21(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家杰出青年科学基金51125029资助的课题

在线出版日期：2013-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：392-402