固体金属二次电子发射的Monte-Carlo模拟

摘要：

二次电子的发射在生产实践中有着广泛的应用，但其相关测量结果受实验环境和实验仪器的影响很大．在实验中难以精确测量．所以本文建立了一个包含二次电子激发、在固体内部传输和最后逸出固体表面的二次电子系统模型．采用Monte-Carlo的模拟方法仿真二次电子运动轨迹，定量分析二次电子的发射系数和能谱分布．并探讨它们与一次电子的入射角度和入射能量的关系．仿真结果表明：本文建立的二次电子系统模型能较好地反映实际情况．通过该模型仿真，可以定量得到二次电子发射系数和能谱分布与一次电子的入射能量和入射角度的关系．

关键词：二次电子、Monte．Carlo、发射系数、能谱分布

所属期刊栏目：61

分类号：O462.2(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金科学部主任基金51047002资助的课题

在线出版日期：2013-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：141-148