铜铟镓硒太阳能电池多层膜的结构分析
对于溅射后硒化和共蒸发等方法制备的铜铟镓硒（CIGS）太阳能电池薄膜，利用多种分析方法研究了CIGS多层膜的复杂结构等．研究表明：卢瑟福背散射（RBS）在分析CIGS多层膜方面具有其独特优势和可靠的结果；溅射后硒化方法制备的CIGS薄膜中，Ga和In在CIGS薄膜中呈梯度分布，这种Ga表层少而内层多的不均匀分布与Mo层没有必然关系；RBS和俄歇电子能谱分析（AES）均显示CIGS太阳能电池器件多层膜界面处存在扩散，尤其是CdS与CIGS，Mo与CIGS的界面处；X射线荧光（XRF）结果表明，电池效率最高的CIGS层中In，Ga比例为In：Ga=0．7：0.3；X射线衍射（XRD）结果显示：退火后的CIGS／Mo薄膜结晶品质得到了优化．
铜铟镓硒太阳能电池、卢瑟福背散射、X射线荧光分析、扩散
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O484.43(固体物理学)
国家自然科学基金10875004;国家重点基础研究发展计划2010CB832904资助的课题
2013-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
529-536
